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半导体器件用的单晶体,基底的掺杂本来就是常用工序之一,在这一点上,直拉比区熔可就方便多了。
说完,又补充了一句:“等到直拉的有眉目了,再去搞区熔,毕竟区熔也有它的好处。”
俞允成对高振东这堂课心服口服,来这里果然来对了,不但学到了技术,还学会了科研的思想。
所以他对于开口向高振东学习,没有一点不好意思,不赶紧趁高主任有空,多扒拉点东西,那高主任不白来了。
“高主任,在我看来,只要坩埚加热温度稳定,热场就是稳定的,坩埚的加热温度可以靠电源功率控制来完成,而拉晶的提拉旋转和高度可以靠籽晶那头控制,为什么坩埚这头还要增加复杂的坩埚升降和旋转控制呢,这不是大大增加了系统的复杂程度吗。”
高振东听见这个,明白他是真的深入思考过,对于他提到的各个子系统的功能和在系统中发挥的作用都有了较为深入的思考,只是现在还主要靠经验在思考问题,缺乏一定的理论支撑而已。
能清晰的分辨出子系统功能和子系统作用,对于一部分人来说,这已经不容易了。
简单来说,功能,指的是这个子系统能干什么事情。
而作用,则是这个子系统的功能,能为整个系统带来什么好处或者影响。
前者是因,后者是果。
有时候有的人容易陷入功能崇拜里面去,这个功能越多越好,越复杂越好,至于能起到什么作用,是不是对系统有利,或者为了这点儿利益付出这么大代价是否值得,没想过或者没想好。
高振东前世的导师举过一个例子,某项目中,为了每几分钟在相隔500米的两地传输1k字节不到的数据,设计单位决定在两地之间拉一条单模光纤。
然后历数他们为了这条光纤,做了多少考虑,什么地线复合光缆防雷,光缆铠装防物理破坏,深挖深埋防压
高振东的导师是审项目的,就问了一个问题:“你们难道就不会用VHF数传电台?低速率下可靠性有保证,安装简单,无需维护,通过协议控制能把数据到达率保证得很好,价格便宜,千把块钱就能弄一对非常好的。”
对方哑口无言,不过,也许傻的不是设计单位,而是高振东的导师吧。
所以听见俞允成问这个问题,高振东还是很高兴的,向他仔细的解释。
“我增加这个系统,不是为了拉晶的提拉旋转控制的,是为了热场控制。”
“石墨坩埚旋转,一部分是为了均匀受热,毕竟再好的控制系统,也不能保证加热炉中各处的温度均匀,要注意一个问题,在拉晶过程中,晶体的成型,受热场的温度梯度影响非常大。”
“温度梯度?”
“对,在某个方向上,温度的变化情况。
分径向温度梯度和纵向温度梯度,前者你可以看成是晶体圆截面上的温度梯度,后者,则是高度方向上的温度梯度。”
这下子,俞允成有点明白了。
高振东拿过纸笔,给俞允成画出了拉晶过程中的温度梯度曲线,详细解释了温度梯度的来源和影响。
俞允成和周围在观看学习的科研组员,都觉得打开了一扇新世界的大门,以前的很多相关经验,都可以在这个里面得到解释。
最后,高振东总结道:“径向温度梯度,原则上是要越均匀越好的,这就是刚才我说的要把坩埚转起来的部分原因。”
“而坩埚的升降,也是类似。
径向温度梯度的影响刚才你们都看见了,要高一点,这样才能及时散掉单晶硅生长的结晶潜热,保持界面温度稳定。
但是又不能太高,太高了可能产生多晶或者大量结构缺陷。”
见大家都明白这个原理,高振东才说出来增加坩埚升降系统的原因:“而增加温度梯度最简单的办法之一,就是增加坩埚的高度,换言之,调节纵向温度梯度最简单的手段,就是升降坩埚。
当然.”
高振东话还没说完,俞允成已经学会抢答了:“还有就是,可以配合其他控制系统一起,调节炉温、改善结晶条件和环境、调整结晶状态?”
高振东笑着道:“对!”
这一番话下来,其实已经把单晶结晶的核心控制条件讲了个明明白白,在座的人,日后不说做个单晶炉吧,但是修个单晶炉可能还是有思路的。
至于俞允成这种本来就是大牛的人,更是获益良多。
(本章完)
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