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第278章 浸没式光刻机（第2页）

只是，想法很简单。

但要解决的技术问题是，光刻胶上方的这一层水，不能污染光刻胶，也不能污染芯片。

黄权坚有些不解：“不研究157nm，研究193nm以上的话，可算不上最先进。”

唐缺笑着道：“教授，你听说过浸没式吗？”

唐缺简单讲了讲原理。

黄权坚看着唐缺，眼神里是无比的惊奇，唐缺竟然懂，而且是很懂。

根本不像是一个文学系的学生。

他听了唐缺的方案，神色激动：“妙啊。只用现在最先进193nm光源设备改进，相比于157nm，能降低不少的成本，可行。”

唐缺道：“你准备演讲稿，七月份参加布鲁塞尔微影技术研讨会上演讲。”

黄权坚觉得弄不到这个资格：“那都是相关的大厂，或者顶级的教授才能做演讲吧。”

唐缺一笑：“你只管演讲稿，剩下的我来搞定。”

他已经有了一个大概的方案。

能让黄权坚上台演讲。

然后，代替台积电，拿到和阿斯麦合作的权利，最差，也要和台积电，阿斯麦，三家合作。

这样，光刻机的限制，也就不攻自破了，以后不会被卡脖子。

而且，浸没式的方案，只是暂时的，领先不了多少年。

深紫外线，duv，终究不如极紫外线，也就是euv。

等拿到和阿斯麦的合作协议之后，下一步就是自研euv光刻机。

当然，这需要一个过程。

不能太慢。

但也急不得。

“我这就去做方案。”黄权坚双眼发亮动力满满，这就要投入工作。

“去吧。”

黄权坚做技术，而唐缺，则是想着怎么外联。

他记得，那个林姓教授，有了浸没式的方案之后，尽力游说好几个半导体巨头，都没有什么撑过，被拒绝了。

如果自己现在提出合作，估计并不难。

“等黄教授做出方案，立刻联系那个林姓教授。”唐缺暗暗盘算。

他相信，现在林姓教授，也在做着浸没式的方案，不过秘而不宣而已。

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