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第六百五十七章 时间才是最大的敌人（第2页）
待到林苯坚小心地坐下后，张中谋笑道“苯坚啊，你上次申请的湿法光刻技术项目，我研究后很有兴趣，你能对我再讲讲你的看法吗？”
“啊……”
林苯坚闻言又惊又喜，惊的是德高望重的张中谋亲自研究了他的项目方案，喜的是自己终于得到了发挥的机会。
他整理了一下思路，缓缓道“传统的干式光刻法，自1959年发明‘平面积成电路’以来，被持续使用了四十年，然而受限于基本光学衍射，在90年代后期，用该方法制造特征尺寸小于65纳米的芯片面临无法逾越的瓶颈。”
林苯坚坚定地道“我预见昂贵的干式光刻技术将进入死角，所以建议使用湿式光刻，该方法是一种新的光刻工序，透过液体介质置换透镜和晶圆表面之间的气隙以提高光学解析精度。”
“这个我知道，你说的湿式光刻，是浸润式光刻，这个概念在80年代曾有人提出过。但这个概念很原始，距离可实现的方法还很远。”张中谋点头道。
“对，为了优化浸润式光刻系统，我在理论上重新定义并导出了关键性能指标和缩放公式，为极高解析度的三维浸润式光刻光学系统，规范了必须遵行的缩放定律。”
林苯坚道“我还在实验室的研究发现，想要完善浸润式光刻，就是要克服液体中微气泡的形成。还必须要开拓在热力学极限下，经由水而衍射的光刻工序。”
张中谋赫然动容道“如果你的这个设想全部解决，那么在科学和工程上，就证实了湿式光刻方法可用于最先进的ic制程，可以将ic技术节点从65n持续降低，打破65n的技术壁障。”
“对，这样摩尔定律又可以生效了。至少可以再持续延伸了五代以上。”林苯坚信心满满地道。
“哈哈，好哇！”
张中谋大笑，“就是要你的这种底气，你来看看这份资料。”
他指着中芯突破90n技术的资料给林苯坚看，“如果技术停滞，后来者就很容易追上来。为了保持我们的技术领先，我决定马上研发湿法光刻技术。由你牵头负责成立技术团队，争取一年内出成果。咱们积电不发威，什么内地小公司都敢追上来了。”
林苯坚临危受命却大喜，他立正道“保证完成任务。”
“不过……”林苯坚又道“光刻机霸主——东洋佳能和尼康十分抵制我的这个方案，我们找哪家公司一起研发湿法光刻机呢？”
“那里……”
张中谋又指了指手中的资料，林苯坚低头看去，“荷兰小厂阿斯麦？”
“对，相信他们愿意尝试。这是他们打败东洋霸主的机会。”
张中谋虽然不熟悉这家小厂，但他懂人心。
他拍拍林苯坚的肩膀，“尽快出发，和这家公司交好，必要的时候可以技术支持或资金入股，争取这家公司更多的话语权。”
张中谋安排好了林苯坚，目光又落到了案头的资料上面。只见资料最上方，叶风的清秀帅气的照片，带着淡淡的笑容。那面容年轻得过份。
叹了一口气道“唉，我和张如京都老了，就算我现在能带领积电领先一步，十年二十年后，我还能带得动积电这艘大船吗？时间，才是我最大的敌人啊。”
他此时还不知道，林苯坚的湿法光刻技术大获成功，不仅革新了集成电路的制程，还使先进半导体芯片的特征尺寸，能持续缩减为57纳米量级，为建造最强大的计算和通信系统做出了关键贡献，让积电的制程技术一直领先了15年。
而且，不但积电完成了技术突破，荷兰阿斯麦也迅速崛起，击垮东洋霸主成为行业巨头，和积电结下了深厚的战友情。
如果不是叶风的出现，15年后的阿斯麦将在美国的重压下，卡着中芯的脖子，不再给中芯7纳米级的先进光刻机，差点将中芯逼入绝境。
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