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第二百四十四章 超紫外激光波长1 5nm功率2000w2（第1页）

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时间转眼就到了第二天。

测试结果非常喜人，昆仑集团的光学系统，包括最重要的物镜在内，一次就点亮了，并且成功流片。

但与此同时，这次实验也发现了不小的问题，中科光电院负责的光源，波长虽然达标，但却存在功率太低的问题，导致硅片曝光不够，即便用系统馈赠的光学系统和超级物镜，也没办法挽救。

“情况怎么样了？”

高原跑去睡了一觉，回到实验室打了个哈欠。

楚落落小脸煞白，这可怜的孩子，激动加担心，令她昨晚都没睡好，而高原就不同了，他不仅舒舒服服睡一觉，还顺便进入系统空间学习知识。

“还在调整光源，他们太拖后腿了，我看实在不行，就用咱们自己的光源吧！”楚落落心思单纯，也没有多想，当即说道。

高原蹙眉，看着实验室里，一群穿着白色防尘服的工程师，正在对光源发生器进行调试，整个测试也因此陷入停滞，大家都在等待。

看来他们的激光功率的确有问题，而且不像一时半刻能够解决的样子。

想到这里，高原走进了项目办公室。

由于是联合项目，各家老总都来了，所以办公室里人比较多，一个个都显得很疲惫。

“杜所长。”高原对长春光机所的杜维明说道：“这次我们带来了超紫外光源，实在不行，就先测试超紫外激光吧，光电所的深紫外放在后面测。”

高原带了光源，这件事他早就通报过的，在场的人都很清楚。

只是大家心里都有点疑惑，超紫外光源是个什么东西？以前没听说过啊！

光电所做的光源叫紫外，或者说深紫外激光，波长193nm，是目前全球应用最广泛的存在，从微米级芯片，一直到14nm芯片，都可以使用这种光源。

半导体代工巨头台积电，甚至用深紫外激光拿下了7nm工艺，令全球为之震撼，彻底打响了自己半导体领域第一天王山的名号。

所以中科光电所测试深紫外光源，高原一点意见都没有，这种光源虽然做不出顶级工艺，但胜在便宜啊，性价比高，并不是说高原拿出超紫外光源后，深紫外光源就不需要了。

合格的光刻机台，应该同时兼容好几种光源，好几种工艺，所以高原让中科光电所先测试深紫外光，打算等他们弄好了，再测试自己的超紫外。

谁知道光电所一整天下来，毫无进展，这让高原有点按捺不住了，提出让光电所的工程师休息一下，人有时候就是这样，越忙越忙，弄不好大家睡一觉，洗个热水澡，茅塞顿开，困难就解决了。

杜维明蹙眉道：“把光源发生器拆下来，再换上你们的，恐怕要大半天时间呢，要不再等等吧，光源又不是电灯泡，换来换去的很麻烦，而且每次拆装，精度还要再次校准。”

杜维明说的也是实话，光刻机又不是缝纫机，不能整天拆来拆去的，稍微一动，精度就要重新校准，很麻烦的。

高原来的时候，光电所的深紫外光源，就已经装在测试机台上了，否则高原一定会要求先测试自己的光源。

然而，这番对话让光电院的龚欣迎院长，脸色一阵红一阵白，有点坐不住了。

都是做科研的，龚院长虽然一向对昆仑集团敬佩有加，但这也太伤人了吧！

好像纯粹是因为太麻烦，才勉强让自己的光源留在机台上，要是拆装容易的话，早就把自己的光源拆下来扔了！

你们行？

那你们就上吧！

超紫外激光？

开什么玩笑呢！

难道还能比荷兰asml的极紫外更强！？

要知道，asml已经把波长干到了13.5nm，而传统深紫外光是193nm，两种光源之间，有着本质的差别！

我就不信了！

你们昆仑集团的这个什么超紫外光，也能做到13.5nm？

恐怕就是个名字而已吧！

昆仑集团向来热衷宣传，给自己的产品和技术，起一些匪夷所思的古怪名字。

明明是固态电池，却叫昆仑晶石。

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